斷路器是在高度真空中滅弧。真空中的電弧是在觸頭分離時電極蒸發出來的金屬蒸汽中形成的。電弧中的離子和電子迅速向周圍空間擴散。當電弧電流到達零值時，觸頭間的粒子因擴散而消失的數量超過產生的數量時，電弧即不能維持而熄滅,會有截流。

　而SF6氣體具有良好的絕緣性能，在均勻電場中SF6的絕緣強度比空氣大2—3倍，SF6具有強大的滅弧能力。因為SF6分子吸附自由電子后變為負離子，負離子容易和正離子復合形成中性分子，使電弧空間的導電性能很快消失。

　特別在電弧電流接近零值時，這種作用更加顯著。如果例用SF6氣體吹弧，使大量新鮮的SF6分子不斷和電弧接觸則滅弧更加迅速。所以SF6斷路器的開斷電流大，開斷時間短。當電弧電流減小趨近于零值時，SF6分子此時電負性顯著，從而使電流保持連續，可使細小的弧心一直存在到極小的電流范圍。SF6電弧的這種特點，使斷路器開斷小電流時，也不會由于截流作用而產生操作過電壓。

　另空氣吹弧主要是冷卻電弧，而SF6氣體吹弧主要是利用SF6分子與電弧不斷接觸進行滅弧，SF6氣體的滅弧能力。