無塵潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室,潔凈室或無塵車間。無塵室是污染控制的基礎。
無塵潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。
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詳細信息 無塵潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室,潔凈室或無塵車間。無塵室是污染控制的基礎。
無塵潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。
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