作為高精度測量儀之一，三坐標測量儀在生產中被廣泛的應用，這與它的測量軟件有著密切的關系，同時，三坐標的一些測量硬件也是三次元測量中必不可少的，其中三坐標測量機的光柵和電機發揮了很大的作用。
由于光柵和電機的重要性，所以我們在組裝生產三坐標測量儀時，也需要對它們進行嚴格的篩選，這樣才能為三次元測量儀的測量提供幫助和保證。
三坐標測量機的長度基準有多種：光柵、感應同步器以及激光干涉儀等?，F在三坐標測量機上應用最廣泛的是光柵。
光柵尺主要有金屬的和玻璃的向種，它在1mm的間距內刻有高達10-100條刻線，每條刻線間的距離（即柵距）為10-100μm。（根據所選用的光柵尺的型號不同而定）
絕大多數的三坐標測量機采用的是直流電機/測速機伺服機組，也有少數采用直線電機、步進電機等。由于三坐標測量機精度高，在測量時又經常高速地正反向切換，若每分鐘采集100個點，則電機就必須每分鐘正反向切換共200次，且要求運行平穩。因此，三坐標測量機所選用的電機性能要求很高，它要求起動扭矩大，起動電壓低，時間響應快。
如何選擇光柵和電機，選擇什么樣的光柵和電機，對三坐標測量儀來說是十分重要的，也是三坐標測量的基礎所在。
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