三坐標測量機是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三次元。
系統各部分構成及技術參數
 EM565機                                  1臺
 測量范圍：X500mm  Y：600mm  Z：500mm
 分辨率：0.4μm
 示值精度：E3 = （3.2 + L/250） μm    （L單位:mm）
 探測誤差：R = 3.5μm
 機臺承重：300kg
 整機重量：580kg
 臺面可用尺寸：1020 mm X690mm
 操作方式：手動推拉升降＋手輪微調